產品名稱：霍尼韋爾AWM3000系列氣流傳感器
產品系列：AWM3000系列
代理品牌：霍尼韋爾-Honeywell
壓力范圍：±30 SCCM; ±200 SCCM; ±1000 SCCM; ±5,0 mbar [2.0 in H20]
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熱門標簽：氣流傳感器選型，氣流傳感器替換
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霍尼韋爾AWM40000系列氣流傳感器
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產品特點
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產品詳情
霍尼韋爾傳感器_氣流傳感器_AWM系列傳感器_AWM40000系列傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質量流量經引導流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進出口的空氣或其他氣體質量成正比。特殊設計的外殼精確地引導和控制氣流流過微結構傳感元件。封裝的機械設計能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。 霍尼韋爾傳感器_氣流傳感器_AWM系列傳感器_AWM40000系列傳感器內含一塊獨特的基于先進微結構技術的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結構，內含加熱器和溫度傳感元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個傳感器之間始終具有一致的可互換性。 微橋氣體質量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于精確規格的氣流通道，提供可重復的流量響應。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔，發熱器和傳感電阻能實現高效的熱隔離。微橋式氣體質量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實現對氣流的極速響應及高靈敏度。 惠斯通雙橋控制氣流測量——一個提供閉環發熱器控制，另一個包含雙感應元件。加熱器電路通過提供與質量流量成正比的輸出，最大程度地降低環境溫度變化導致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。
產品特點
惠斯通雙橋控制氣流測量——一個提供閉環發熱器控制，另一個包含雙感應元件。加熱器電路通過提供與質量流量成正比的輸出，最大程度地降低環境溫度變化導致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。
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| 型號 | 信號調節 | 補償溫度范圍 | 流量/壓力范圍 | 介質兼容性 |
|---|---|---|---|---|
| AWM42300V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 |
| AWM42150VH | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±25 sccm | 氫氣 |
| AWM43600V | 放大 | 6 SLPM | 僅干燥氣體 | |
| AWM43300V | 放大 | 1000sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 |
標簽：
